真空系统常用名称_新闻中心_上海J9集团九游泵业制造有限公司

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发布时间：2011-2-17 9:52:58 | 阅读次数：887次

(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要

求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
　　
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强

的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
　　
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，上海J9集团九游泵业制造有限公司

并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机

中的滑阀泵，就是粗油泵。
　　
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级

泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。

如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。