1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强

要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的

真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备

真空度半个到一个数量级。
　　
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强

范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的

抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-

6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在

10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其

工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
　　
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产

生的全部气体量。
　　
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有

时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充

才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，

而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一

定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另

外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出

口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
　　
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该

选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵

等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，

如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
　　
6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰

尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽

气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，

应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
　　
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允

许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
　　
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若

工艺过程不允许，上海J9集团九游泵业制造有限公司应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
　　
9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择